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XPS 、AES、UPS、EDS 四大能譜分析介紹，材料人必看！！！

原理 ：俄歇電子的產生和俄歇電子躍遷過程：一定能量的電子束轟擊固體樣品表面，將樣品內原子的內層電子擊出，使原子處於高能的激發態。

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