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冷場發射掃描式電子顯微鏡

分析原理：. 冷場發射掃瞄式電子顯微鏡(Field ... 高解析度表面形貌檢測儀器，其解析度可高達～2nm。配合能量光譜分析儀(EDS)即可進行成分分析，材料相結構的探討等。

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