EDS INCA 軟體介紹. 1. 樣品準備。 2. 放入SEM 內觀察。 ... 轉入EDS 偵測器至設定位置。 3. 從Windows 桌面按 ... 有指引步驟出現,或可進一步查詢SEM,EDS…等原理。
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