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基於光譜敏感度及製程變異之量測配方最佳化

該製程變異資訊及該光譜敏感度資訊係用以判定浮動參數較少且參數之間的相關性 ... 如本文中使用，磁碟及光碟包含光碟(CD)、雷射光碟、光碟、數位多功能光碟(DVD)、軟碟 ...

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