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頻率分散及電荷捕捉於高介電MIM(DRAM)結構之研究

近年來，應用高介電材料之MIM結構以增加電容密度的研究被廣泛地討論，然而在MIM結構中，鮮少有研究探討高介電材料的缺陷，造成介電層內電荷被捕捉的情況，導致DRAM中的 ...

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