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林本堅：把半導體元件縮到光波長的四十分之一 - 每日頭條

光刻微縮的理論基礎主要基於下圖的方程式：解析度和DOF（depth of ... 從圖中的公式可以看出，解析度主要由三個因數決定，分別是波長λ、鏡頭角度的 ...

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