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以SRM技術監測微影製程控制因子與光阻 - EDN Taiwan

焦深(depth of focus，DOF)則如下列方程式定義： ... 雖然新進的掃描機使用浸潤式微影來改善解析度並提高DOF，但是晶圓平面度仍然是個重要議題。

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