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奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES

... 的複雜度，且大數值孔徑會降低聚焦深度（depth of focus）進而增加製程的困難度。 ... 由公式一之解析度公式可以看出，應用極紫外光光源可以有效地增加微影系統的 ...

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