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無機合成與製備化學 - 第 366 頁 - Google 圖書結果

... 或金屬化合物薄膜時,常常採用這些有機烷基金屬為原料,相應地形成了一類金屬有機化學氣相沈積( Metal - Organic Chemical Vapor Deposition ,簡稱為 MOCVD )技術。

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