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電漿輔助硒化製程開發 - 行政院原子能委員會

中文 摘要. 本團隊於此計畫執行期間引入電漿製程於硒化製程中，取代傳統常用之劇毒 ... 子形成鍵結，有效鈍化多晶矽的不飽和鍵(Dangling Bond)(圖三(a))，減少多晶矽.

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