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高科技產業製程安全技術與管理: 本質較安全設計

... 此外當機臺當機設備工程師必須立即開啟機臺進行檢查或維修時,即可能立即接觸高溫而灼傷。 2.洩漏中毒(Leakage Poisoning):CVD 製程會使用到矽甲烷、硼乙烷、氨、四 ...

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