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(11) 證書號數

【0005) 但是連續減小特徵尺寸意謂著在此製程中難度將不. 斷增大。當在側壁以及特徵之底部表面上形成錫層時,CVD. 製程將在特徵之內的兩個表面上沉積金屬。

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