CVD 稱為化學氣相沉積,也就是利用化學反應,讓二種原本不相甘的材料經過化學反應的 ... 相中製備沉積元素以便進行薄膜沉積的PVD技術,稱. ,而PVD 的濺鍍製程,可以達成 ...
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