半導體製程技術整合介紹; 化學氣相沉積法(CVD)介紹; 介電質薄膜應用與特性; 介電質CVD製程; SOG以及HDP-CVD; 金屬及導電薄膜特性介紹; 金屬化學氣相沉積及物理氣相沉積 ...
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