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金屬氧化物顯示器技術在OLED TV&IT領域的新變革Enabling ...

造成很大的挑戰，如對於金屬氧化物的CVD製程而言，則遇到了三個最主要的挑戰，第一個挑. 戰就是如何在同一個製程腔體內，能夠生產非常好鍍膜品質的silicon nitride ...

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