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半導體製程之薄膜形成裝置及方法、與電腦可讀取媒體

例如，有一種用於薄膜形成製程的CVD(化學氣相沈積)方法，其執行薄膜形成，同時間歇性地供應源氣體等，以一個接一個或數個接數個地重複形成多個層，每一層均具有原子或 ...

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