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CVD鍍膜技術

典型的化學氣相沉積製程是將基板暴露在一種或多種不同的前驅物下，在基底表面發生化學反應或及化學分解來產生待沉積的薄膜。反應過程中通常也會產生許多不同的副產品， ...

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