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第十章介電質薄膜SiO , Si N
CVD. ARC: 反射層鍍膜; IMD: 金屬層間介電質層; PMD: 金屬沈積前的介電質層; ... 電漿增強型CVD 系統. 製程氣體. 製程反. 應室. 副產品被幫.
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