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Endura® CuBS RFX PVD | Applied Materials

應用材料Endura CuBS (銅阻障層/晶種) RFX PVD 是供3x/2x 及更先進節點的邏輯和記憶體的應用。SIP (自離子化電漿) EnCoRe II Ta(N) 阻障層和EnCoRe II RFX 銅晶種製程 ...

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