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SiC晶圓製造究竟難在哪? - 電子工程專輯
... 與磊晶相關性很大;製造需要通過微影、薄膜沉積、刻蝕等複雜製程流程在磊 ... 總成本的50%,磊晶片佔25%,元件晶圓製造環節20%,封裝測試環節5%。
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