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TWI548014B - 晶圓測試方法及晶圓測試裝置 - Google Patents

晶圓測試流程20係用於一晶圓偵測機(Frame Prober)中，用來測試複數個晶粒，特別是可針對非完整晶圓狀態之晶圓或單一晶粒進行測試驗證。晶圓測試流程20可應用於各種尺寸大小 ...

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