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整合良率預估及缺陷樣式辨識之晶圓缺陷診斷系統

(Compound Poisson Yield Model)雖然預測的良率較卜瓦松良率模式準確，但模式. 的建構卻相當複雜，較不易為業界所用。而Jun et al.以迴歸分析法所建構之良率.

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