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CMP 浆料- 化学机械抛光

化学机械抛光(CMP)是硅半导体工厂不可或缺的一部分。 使用光刻和薄膜沉积制成的集成电路总是借助CMP来实现基板和沉积层所需的平坦性。CMP浆料通常由分散在化学反应溶液 ...

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