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製造品質典範獎-羅門哈斯亞太研磨材料股份有限公司
近年來化學機械研磨(CMP)為IC製程中成長最快,最受重視的一項技術,其製程目的即是要把晶圓表面磨平,CMP可去除在製程中發生在晶片表面的凹凸不平,半導體元件中分層的 ...
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