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高科技TFT-LCD面板工業洗淨系統最佳化之策略研究
本研究實際進行洗淨系統工具參數的搭配來改善,將基板水膜滿佈後搭配著洗淨系統中毛刷高轉速清洗與高壓水系統中的水量與CDA氣體流量調整搭配HPMJ參數最佳化來進行製程 ...
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