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cda氣體
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反應性離子蝕刻(RIE)系統使用說明書
通入所需製程氣體,請按氣體流量閥「V16H~V20H」等5 個閥門中有設定流量的, ... 注意:蝕刻過程中隨時注意系統是否異常,如:電漿熄滅、氣體沒有持續通入、CDA 被.
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