質量流量控制器在此製程中的主要功用是監測並控制吹掃氣體如: 超高純度(UHP) N2(A)或清潔乾燥空氣(CDA)(B)。在較早的晶圓廠中經常使用CDA吹掃(B),而先進晶圓廠 ...
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