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中芯国际再迎国产设备上海精测半导体两款产品出机

前不久，东方晶源首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）也宣布斩获订单并出机中芯国际。 据介绍，上海精测半导体12寸独立式光学线宽测量机台(OCD)是该类型的 ...

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