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CD SEM 半導體 - 軟體兄弟

CD SEM 半導體, 半導體進入10奈米以下技術節點或三維(3D)結構時，將面臨嚴重的導孔偏移 ... 中，以掃瞄式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)量測CD 值。

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