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东方晶源国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机中芯国际

近日，国内半导体制造良率管理设备厂商东方晶源在北京总部举行了国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机仪式，正式宣布斩获订单并出机中芯国际。

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