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中国科大主导制定半导体线宽检测的首个ISO国际标准

人们已经发展了多种测量技术手段，如散射测量、原子力显微镜、透射电子显微镜和扫描电子显微镜，而测长扫描电镜（CD-SEM）是半导体工业生产中进行实时 ...

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