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2014/08/18 檢測10nm以下半導體CD-SEM量測技術邁大步

半導體 進入10奈米以下技術節點或三維(3D)結構時，將面臨嚴重的導孔偏移問題，所幸，設備商已研發出具備更高影像解析能力的微距量測掃描式電子 ...

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