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东方晶源微电子科技（北京）有限公司展出关键尺寸量测设备 ...

来源：大半导体产业网 2021-03-19. 核心提示：关键尺寸量测设备（CD-SEM），应用电子束扫描技术得到的纳米级图像进行关键尺寸的量测，实现关键工艺参数的监控，是芯片 ...

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