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检测10纳米以下半导体CD-SEM量测技术迈大步 - 电子工程世界

多年来，业界一直使用微距量测扫描式电子显微镜(CD-SEM)来进行量测，此种显微镜会射出电子束，与要扫描的材料作用，然后回传讯号，再由量测机台比对 ...

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