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從散射測量對微影線上製程控制的研究__臺灣博碩士論文知識加 ...

對於奈米微影製程¬而言，傳統CD的量測方式似乎接近半導體元件解析度的有效極限；以臨界尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)的量測方式，是由上而下的觀測，並無法提供很詳細的 ...

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