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CHIPChina：半导体测试大变局中的机遇与创新- 新闻动态

据SEMI统计，前道检测设备占半导体设备投资额的11%~13%，其中量测 ... 在具备试样制备的前提下，多年来AFM成功用于CD测量、表面粗糙度、膜厚、颗粒度 ...

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