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半導體計量學

原子力顯微鏡的結果很快，可以容易地反復找到和測試同一個點，也可以自動測量預定義的模式。這使得它們成為特性分析缺陷、確定墊片尺寸、分析臨界尺寸（CD）、線寬粗糙度和 ...

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