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薄膜量測標準 - 材料世界網

系統是以波長掃描範圍為250~850nm之分光式橢圓偏光儀，量測熱成長二氧化矽薄膜的物理與 ... 除CD. 檢測標準建立，奈米結構所衍生的功能性檢. 測，亦為生產製程所必須。

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