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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

測蝕刻速率時,使用何者量測儀器? 答：膜厚計,測量膜厚差值. 何謂AEI ... 答：蝕刻CD 減蝕刻前黃光CD ... 日常測機量測etch rate之目的何在?

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