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cd量測
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檢測10奈米以下半導體CD-SEM量測技術邁大步 - 新電子
半導體進入10奈米以下技術節點或三維(3D)結構時,將面臨嚴重的導孔偏移問題,所幸,設備商已研發出具備更高影像解析能力的微距量測掃描式電子顯微鏡(CD-SEM), ...
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