你即將離開本站

並前往https://www.tsri.org.tw/CommonUtilServlet?type=2.84&file=devicesd1s1a1CFd1s1a1C5_B.pdf

最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法(wet chemistry)

酸(H2SO4)和過氧化氫(H2O2)混合後，即產生「卡羅酸」(Caro´s Acid-H2SO4);光阻去除時，卡. 羅酸即分解形成自由基和光阻產生化學作用，而將光阻去除。

確定！ 回上一頁

查詢 「caro意思」的人也找了：

  1. carol中文
    2.