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赴美接受Canon FPA 3000 i5+I-line 步進機訓練報告

目前I-line 步進機在深次微米微影製程中，扮演著重要的角色，主要是用來搭配先進曝光機台（如KrF、ArF、E-beam）做非關鍵層（non-critical layer）的曝光，稱 ...

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