半導體 自動光學檢測設備 ... 異物、汙染、刮傷、金屬殘留、光阻殘留、邊緣崩缺、 RDL缺口/短路/斷路/、Bump缺口…等; 量測項目: RDL寬度/高度、Bump寬度/高度、UBM深度…
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