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氫分離單晶矽基薄膜科學及技術研究

合成奈米厚度薄膜材料是當今半導體及光電工業界進入相關奈米製程所需求的材料技術， ... 這項技術包括兩大關鍵：一、晶圓鍵合(Wafer Bonding) 及二、薄膜轉移(Layer ...

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