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可調適光學關鍵元件的設計與製作

圖22. 施加驅動電壓後可. 形變反射鏡形成. 的(a) defocus、(b) astigmatism、(c) trefoil。 4. 小結. 以上以聚酉先亞胺作為反射膜，運用微機電技. 術製作 ...

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