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先進製程控制的架構與概念-公開課程 - 亞太教育訓練網

先進製程控制(APC, Advanced Process Control) 包含FDC(故障偵測與分類)、Run-to-Run Control、OEE等。在半導體12吋晶圓廠(Fab)已經是必備的系統， ...

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