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APC應用在半導體蝕刻製程之氣體回饋機制

演算模型是架構在先進製程控制系統(Advanced Process Control, APC)中。 ... 利用以上的幾種方法，來得到最佳的氣體流量。在每一次生產前，運用此演算模型，可得到機台腔體 ...

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