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先進製程控管 - 工業工程學研究所

在過去的二，三十年，文獻對APC的控制演算法、系統介面和基礎架構進行了廣泛的研究，APC應視為一永續精進半導體製程良率與穩定的實踐手段，其通常由幾個工程系統構成：批次 ...

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