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ModBUS通訊, 擁有APC先進製程控制系統- 真空蝶閥

Htc 日揚真空APC 蝶閥是一種運用ModBUS通訊在高真空製程控制系統裡的真空閥, 特點精確的真空壓力控制與執行反應時間短, 主要為半導體、光電面板、物理氣相沉積等產業 ...

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