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應用模糊類神經網路於銅膜化學機械研磨之批次製程控制Run-to ...

則可以得到式(3.26)之聯立方程式，其中Z 與y 多了一個下標符號，. 代表第p 個樣本數。將式(3.26)寫成矩陣形式，可以得到式(3.27)，並 ... Remove Rate(Angstrom.

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